Kuvaus |
Prosessikaaviot NIL:lle ja SFIL:lle. Substraattia kuvataan tumman sinisellä värillä. Vasemmalla muottia kuvataan punaisella ja resistiä keltaisella värillä. Oikealla vaalean sinisellä värillä kuvataan muottia. Keltainen väri kuvaa fotopolymeroituvaa kerrosta ja vihreä väri siirtokerrosta. UV-valotusta kuvataan kuvan yläreunassa olevilla nuolilla. |
---|---|
Lähde | Oma teos |
Päiväys | 9.9.2009 |
Tekijä(t) |
Kari Iltanen |
Diplomityötäni varten tekemäni kaavio NIL ja SFIL prosesseista, viimeinen muokkaus 9.9.2009. Käytetty kuvateksti: Prosessikaaviot NIL:lle ja SFIL:lle. Substraattia kuvataan tumman sinisellä värillä. Vasemmalla muottia kuvataan punaisella ja resistiä keltaisella värillä. Oikealla vaalean sinisellä värillä kuvataan muottia. Keltainen väri kuvaa fotopolymeroituvaa kerrosta ja vihreä väri siirtokerrosta. UV-valotusta kuvataan kuvan yläreunassa olevilla nuolilla.
Minä, tämän työn tekijänoikeuksien haltija, julkaisen työni seuraavilla lisensseillä:
|